質量流量控制器即MassFlowController（縮寫為MFC），不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說，其就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。

　　質量流量控制器可以準確地測量和控制系統中的流量。然而，在流量控制器的上下游，沒有絕對的信心來確定流量是準確的。如果不采取任何對策，則不會將所需的確切流量傳遞給過程。隨著流量的最小化，系統組件（如管道、過濾器和閥門）的相對內部體積似乎增加了。這會影響系統的動態，因為響應時間會減慢，導致直接控制的損失。

　　在許多低流量流體控制系統中，為了控制低流量，最薄弱的環節通常不是質量流量傳感器。而是流體被氣體壓制，當氣體夾在液體流中時，它可能以溶解氣體或氣泡的形式出現。在這兩種情況下，它對平均質量流量沒有顯著影響。然而，氣泡傾向于破壞流動的穩定性。通過快速準確的流量計可以監測效果。這種物理效應發生在任何具有溶解氣體和下游壓降的低液體流量系統中，與測量原理或控制閥類型無關。