產品性能參數

5950系列質量流量控制器

精度（調零后標準條件下）

± 1%Full Scale

高精度選項（調零后標準條件下）

±0.5% of Full Scale
High Accuracy option not available for units ranged under 5 sccm or over 3000 slm

重復性

± 0.2%Full Scale

零點漂移和滿量程漂移

0.025% Full Scale / oCelsius / Atm

工作范圍和量程比

2% to 100% Full Scale / 50:1 (100:1 optional)

最大可控流量

100% Full Scale

最大可測流量

100% Full Scale

典型響應時間

<200 ms

泄露率

1×10-9 atm ·cc/s He

運行工況

5950系列質量流量控制器

標準工況(STP)

25oC & 14.696 psia (standard — others available on request)

工作溫度

0 to +50 oCelsius

工作濕度范圍（不冷凝）

0 to 90%

最大耐壓 (靜壓)

145 psi(g)/10bar(g) optional:435psi(g)/30bar(g)Max1450psi(g)/100bar(g)

工作壓差 (入口到出口)

Under 500slm:72.5psi(d)/5bar(d);Above 500slm:145psi(d)/10bar(d)

對安裝方向的要求

Full Scale:None

閥門類型

Normally Closed

防護等級

IP40(IP65 optional)

接觸介質的材質

316L 、417J1 不銹鋼、氟橡膠、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、硅、玻璃等。
         如果您應用的介質需要不同的材料，請聯系Grylls。